特許
J-GLOBAL ID：200903033503915783

感光性樹脂組成物、これを用いたレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者：
吉野 利純

吉野 利純 について

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佐藤 邦明

佐藤 邦明 について

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片木 秀行

片木 秀行 について

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大川 昌也

大川 昌也 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  赤堀 龍吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-045856
公開番号（公開出願番号）：特開2007-256943
出願日： 2007年02月26日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：
【課題】 露光裕度、現像裕度、耐PCT性、ビア形状、耐熱性、現像性、密着性、耐熱衝撃性、耐電食性、可とう性、機械特性に優れた高性能な硬化膜を得ることができ、プリント配線板や高密度多層板及び半導体パッケージ等の製造に好適に用いられる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)(a)一分子中にエポキシ基を2つ以上有するエポキシ化合物と(b)不飽和モノカルボン酸とのエステル化物に、更に(c)飽和又は不飽和多塩基酸無水物を付加した付加反応生成物である酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂と、(B)光重合開始剤と、(C)希釈剤と、(D)硬化剤と、(E)重量平均分子量が30,000〜120,000のアクリル樹脂と、を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)(a)一分子中にエポキシ基を2つ以上有するエポキシ化合物と(b)不飽和モノカルボン酸とのエステル化物に、更に(c)飽和又は不飽和多塩基酸無水物を付加した付加反応生成物である酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂と、 (B)光重合開始剤と、 (C)希釈剤と、 (D)硬化剤と、 (E)重量平均分子量が30,000〜120,000のアクリル樹脂と、 を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/032 ,  C08F 299/02 ,  H05K 3/28
FI (6件)：
G03F7/027 515 ,  G03F7/033 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/032 ,  C08F299/02 ,  H05K3/28 D
Fターム (63件)：
2H025AA01 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025CA00 ,  2H025CB11 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB28 ,  2H025CB55 ,  2H025CC08 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  4J127AA03 ,  4J127AA06 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB131 ,  4J127BB221 ,  4J127BB281 ,  4J127BB301 ,  4J127BC031 ,  4J127BC121 ,  4J127BC131 ,  4J127BD201 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BF30Y ,  4J127BF301 ,  4J127BF31Y ,  4J127BF311 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG12Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127CB371 ,  4J127CC111 ,  4J127DA46 ,  4J127FA18 ,  4J127FA38 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314BB06 ,  5E314GG02 ,  5E314GG05 ,  5E314GG11
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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