特許

J-GLOBAL ID：200903033529140194

外観検査装置

発明者： 柳沼 芳隆 ,  平山 国雄
出願人/特許権者： 三菱原子燃料株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-351337
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197450
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 コーティング層のピンホールを検出する。【解決手段】 表面にコーティング層を設けたロータrに、光源3として複数配列したLED3aにより照明光を複数方向から照射する。光源3の中心に設けたスリット状の開口部12を通してラインセンサカメラ4でロータrを撮影することで、展開画像からピンホールpを検出する。

請求項（抜粋）：

複数方向の結晶面を有する表面にコーティング層が設けられた試料に、指向性のある光を複数方向から照射して、開口部を通して撮像手段で前記試料を撮影することで、前記試料の画像から前記コーティング層の孔を検出できるようにした外観検査装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 鋼片のピンホール検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-199848   出願人：新日本製鐵株式会社, ニッテツ北海道制御システム株式会社
• 表面検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-111170   出願人：松下電器産業株式会社
• 光ディスクの検査方法と検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-077205   出願人：ソニー株式会社
• 特開昭60-025405