特許
J-GLOBAL ID:200903033570567420
微粒子分級装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (4件):
川口 嘉之
, 松倉 秀実
, 和久田 純一
, 遠山 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-290400
公開番号(公開出願番号):特開2008-104954
出願日: 2006年10月25日
公開日(公表日): 2008年05月08日
要約:
【課題】特定粒径の粒子を高スループットに分級することのできる微粒子分級装置を提供する。【解決手段】対向する2つの電極と、電極間にシースガスを流すガス給送手段と、電極間に電場を形成する電場形成手段と、一方の電極に設けられた入口スリットと、入口スリットからシースガスにエアロゾルガスを投入する粒子投入手段と、他方の電極に設けられた出口スリットとを有し、エアロゾルガス中の荷電粒子を分級する微粒子分級装置において、複数の孔が設けられた導電性部材によって出口スリットを覆う。これにより、出口スリットの開口幅を広くし高スループットの分級を行う場合であっても、この導電性部材の存在により電極間の電場が一様となるため理論通りの分級を行える。導電性部材は、複数のメッシュ状またはスリット状の孔を有する構造とすることが好ましい。【選択図】図4
請求項(抜粋):
対向する2つの電極と、
前記電極間にキャリアガスを流すガス給送手段と、
前記電極間に電場を形成する電場形成手段と、
一方の電極に設けられた入口スリットと、
前記入口スリットから前記キャリアガスに荷電粒子を投入する粒子投入手段と、
前記入口スリットが設けられた電極とは異なる電極に、前記入口スリットよりも下流側に設けられた出口スリットと、
を有し、
前記キャリアガスに投入された前記荷電粒子の電気移動度が粒径に応じて異なることを利用し、前記出口スリットに到達した所定範囲の粒径を有する荷電粒子を選択的に取り出す微粒子分級装置であって、
前記出口スリットを覆う、複数の孔が設けられた導電性部材を有することを特徴とする微粒子分級装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (2件):
引用特許: