液体浄化装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-177979
公開番号（公開出願番号）：特開平11-319439
出願日： 1998年05月21日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】シリコンを鏡面研磨するコロイダルシリカの廃液、多量の不純物、粘性の高い不純物が混入した廃液を浄化する液体浄化装置を提供する。【解決手段】第一の工程として、廃液を、希釈槽1において希釈水で希釈する。第二の工程として、凝集型濾過装置4において、マグネシウム、またはカルシウム、もしくはホウ酸アルミニウムの結晶状繊維を集合して構成した顆粒状体、もしくは粉末状体からなる吸着剤の相互間隙中に、希釈廃液を通過させ、廃液中の不純物粒子の相互間距離を不純物粒子が相互に凝集する距離まで近づけ、不純物粒子相互を凝集させ、大きな塊とする。第三の工程として、沈殿槽9において、不純物粒子が凝集した廃液を静置させて、廃液中の大きな塊となった不純物を沈殿させ、沈殿した不純物を廃棄物として処理する。第四の工程として、第三の工程で発生した上澄み液を、第一の工程の希釈水に再利用するようにした。

請求項（抜粋）：

廃液を希釈水で希釈する第一の工程と、マグネシュウム、またはカルシュウム、もしくはホウ酸アルミニュウムの結晶状繊維を集合して構成した顆粒状体、もしくは粉末状体からなる吸着剤の、相互間隙中に、前記第一の工程で希釈された廃液を通過させ、廃液中の不純物粒子の相互間距離を、前記不純物粒子が相互に凝集する距離まで近づけ、前記不純物粒子相互を凝集させ、大きな塊とする第二の工程と、前記第二の工程で処理された廃液を静置させて、廃液中の大きな塊となった不純物を沈殿させ、沈殿した不純物を廃棄物として処理する第三の工程と、及び、前記第三の工程で発生した上澄み液を、前記第一の工程の希釈水に再利用する第四の工程と、からなることを特徴とする液体浄化装置。

IPC (5件)：

B01D 36/04 , B01D 15/00 , B01D 21/01 , B01D 21/02 , B01D 37/00

FI (5件)：

B01D 36/04 , B01D 15/00 Z , B01D 21/01 B , B01D 21/02 Q , B01D 37/00

引用特許：

審査官引用 (7件)

廃液リサイクル装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-143828 出願人：岡上公彦
特開昭52-138353
特開平2-149397

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