特許
J-GLOBAL ID：200903033635189577
基板搬送装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-197351
公開番号（公開出願番号）：特開2009-029604
出願日： 2007年07月30日
公開日（公表日）： 2009年02月12日
要約：
【課題】高密度に基板を多段格納すると共に、任意の基板を搬入出可能な基板搬送装置を提供する。【解決手段】基板2の搬入出方向の両側方に配置された1対の摺動部材12と、両摺動部材12の間に掛け渡したワイヤ状の支持体14とで棚部材10を構成し、この棚部材10を収納部4に対し相対的に上下方向に移動可能に段積みする。そして、これら棚部材10から任意に選択した対象棚部材10の下方の棚部材10に対し、対象棚部材10を昇降機構20により相対的に上方に離間させた後、搬送部6のハンド部32を対象棚部材10の下方に進入させ、基板2の搬入出方向における対象棚部材10の支持体14の位置とは異なる位置において、支持体14より上方で基板2をハンド部32の搬送ローラ42及びエア噴出口44の噴出エアにより支持すると共に、対象棚部材10の空隙を介して基板2の搬入出を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
薄板状の基板を収納部内に搬入し上記収納部内に段積みされた複数の棚部材に載置して保管可能であると共に、保管している基板を上記収納部から搬出可能とする基板搬送装置において、
上記基板を搬入出するための空隙を形成して段積みされ、それぞれが上記基板の搬入出方向に対して直交する方向における上記基板の全長にわたって上記基板を支持する支持体を備えると共に上記収納部に対し相対的に上下方向に移動可能な棚部材と、
上記棚部材のうちの任意の棚部材を対象棚部材とし、上記対象棚部材より下方の棚部材に対し、相対的に上方に離間した位置と段積みされた位置との間で上記対象棚部材を移動可能な昇降手段と、
上記昇降手段により下方の棚部材から相対的に上方に離間した上記対象棚部材の下方に進退可能に設けられ、上記対象棚部材下方に進入したときに、上記基板の搬入出方向における上記対象棚部材の上記支持体の位置とは異なる位置において上記支持体より上方で上記基板を支持すると共に、上記対象棚部材の上記空隙を介して上記対象棚部材への上記基板の搬入出を行う搬送手段と
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
B65G 1/00
, B65G 49/06
, H01L 21/677
, B65G 1/06
B65G1/00 543B
, B65G49/06 Z
, H01L21/68 A
, B65G1/06 511D
3F022AA08
, 3F022CC02
, 3F022EE05
, 3F022FF26
, 3F022KK01
, 3F022KK16
, 3F022MM01
, 5F031CA05
, 5F031DA13
, 5F031DA17
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031GA10
, 5F031GA48
, 5F031GA53
, 5F031GA62
, 5F031HA58
, 5F031KA07
