特許
J-GLOBAL ID：200903058927643956

基板搬送装置、基板保管搬送装置、基板搬入システム、基板搬出システム及び基板搬入/搬出システム

発明者：
石橋 希遠

石橋 希遠 について

, 
村山 晋

村山 晋 について


出願人/特許権者：
石川島播磨重工業株式会社

石川島播磨重工業株式会社 について


代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-247394
公開番号（公開出願番号）：特開2005-170675
出願日： 2004年08月26日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】 高密度に多段収納された基板を任意かつ最小限の汚染で搬入出すること。【解決手段】 複数のガラス基板4を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセット1と、該基板カセット1内に基板搬送方向と直交する方向への往復動により抜き差しされる基板搬入出手段と、基板カセット1を昇降移動させるカセット昇降機構とを備える。基板搬入出手段は、ガラス基板4の下面両側縁部4a,4bをそれぞれ支持し得る複数対の搬送ローラ24と、この搬送ローラ24よりも基板搬送方向と直交する方向に長尺なハンド部26とを備える。このハンド部26の上面26Aには、送気ブロワから送気可能な吹出孔27aが開口しており、ガラス基板4を非接触に支持できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットに対し、基板搬送方向と直交する方向への往復動により抜き差しされる基板搬入出手段を備え、 この基板搬入出手段は、前記基板の下面両側縁部をそれぞれ支持し得る複数対の搬送ローラを備えてなることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (5件)：
B65G49/06 ,  B65G1/00 ,  B65G1/06 ,  B65G7/06 ,  H01L21/68
FI (5件)：
B65G49/06 Z ,  B65G1/00 543B ,  B65G1/06 511D ,  B65G7/06 C ,  H01L21/68 A
Fターム (14件)：
3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF26 ,  3F022JJ01 ,  3F022KK16 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA06 ,  5F031GA30 ,  5F031PA23
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 基板ストック装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-092749   出願人：三機産業設備株式会社
  • 板状体移載搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-066837   出願人：株式会社ダイフク
審査官引用 (4件)
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