特許
J-GLOBAL ID：200903033687162774
ディスプレイ用基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-331873
公開番号（公開出願番号）：特開2004-165079
出願日： 2002年11月15日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】ITO透明導電膜および該ITO透明導電膜を用いる基板について、焼成時におけるITO透明導電膜の抵抗値の上昇を抑え、各種ディスプレイ装置、とくにプラズマディスプレイパネルに好適に用いることのできるITO透明導電膜および該ITO透明導電膜を用いるディスプレイ用基板を提供する。【解決手段】圧力勾配型プラズマガンを使用する活性化蒸着法で成膜されたITO透明導電膜であって、ITO透明導電膜のX線回折の強度分布は、2θ=30.1 ゚を中心とする回折強度I(222)と2θ=35.1 ゚を中心とする回折強度I(400)との強度比I(222)/I(400)が3.0以上である。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ITO透明導電膜が透明基板に形成されてなるディスプレイ用基板において、ITO透明導電膜が圧力勾配型プラズマガンを使用する活性化蒸着法で成膜されたものであって、該ITO透明導電膜のX線回折の強度分布は、2θ=30.1 ゚を中心とする回折強度I(222)と2θ=35.1 ゚を中心とする回折強度I(400)との強度比I(222)/I(400)が3.0以上であることを特徴とするディスプレイ用基板。
IPC (7件)：
H01J11/02
, C23C14/32
, G02F1/1333
, G02F1/1343
, G09F9/30
, G09F9/313
, H01J9/02
H01J11/02 B
, C23C14/32 B
, G02F1/1333 505
, G02F1/1343
, G09F9/30 339
, G09F9/313
, H01J9/02 F
2H090HA03
, 2H090HB03X
, 2H090HB04X
, 2H090HC01
, 2H090HC16
, 2H090HD07
, 2H090JB02
, 2H090JC07
, 2H090JC08
, 2H090LA01
, 2H092GA11
, 2H092GA31
, 2H092HA04
, 2H092JB01
, 2H092KB14
, 2H092MA05
, 2H092MA08
, 2H092MA22
, 2H092NA01
, 2H092PA01
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA45
, 4K029BC09
, 4K029CA04
, 4K029DD05
, 4K029EA01
, 4K029GA01
, 5C027AA01
, 5C027AA03
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GC06
, 5C040GC18
, 5C040GC19
, 5C040JA07
, 5C094AA31
, 5C094BA31
, 5C094CA19
, 5C094EA05
, 5C094EB02
, 5C094JA05
, 5G307FA01
, 5G307FB01
, 5G307FC10
