透明導電膜付きガラス基板とその製法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-212619
公開番号（公開出願番号）：特開2000-048726
出願日： 1998年07月28日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】焼成後に表面抵抗をいちいちチェック・分別することなく、低抵抗且つ高品質の透明導電膜付きガラス基板を安定且つ効率よく製造することが出来る導電膜付き基板およびその製造方法に関する。【解決手段】透明ガラス基板上に酸化インジウムを主成分とする透明導電膜を形成し、その上にガラス質絶縁層を形成する基板において、該透明導電膜は結晶方位の揃った結晶子が複数個集合して形成された結晶粒子から構成され、該結晶粒子の平均サイズは500nm以上で且つ格子常数が1.015nm〜1.022nmの範囲にあること。

請求項（抜粋）：

透明ガラス基板上に酸化インジュウムを主成分とする透明導電膜を形成し、その上にガラス質絶縁層を形成する基板において、該透明導電膜は結晶方位の揃った結晶子が複数個集合して形成された結晶粒子から構成され、該結晶粒子の平均サイズは500nm以上で且つ格子定数a0 が1.015nm〜1.022nmの範囲にあることを特徴とするプラズマディスプレイ用透明導電膜付きガラス基板。

IPC (6件)：

H01J 11/02 , C03C 17/34 , G09F 9/30 312 , H01J 9/02 , H01J 17/04 , H01J 17/16

FI (6件)：

H01J 11/02 B , C03C 17/34 Z , G09F 9/30 312 Z , H01J 9/02 F , H01J 17/04 , H01J 17/16

Fターム (28件)：

4G059AA07 , 4G059AC12 , 4G059AC20 , 4G059EA03 , 4G059EB04 , 4G059GA01 , 4G059GA04 , 4G059GA12 , 5C027AA03 , 5C027AA06 , 5C040AA04 , 5C040DD02 , 5C040DD03 , 5C040DD07 , 5C040EE06 , 5C094AA03 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094BA31 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094EA05 , 5C094EB02 , 5C094FB02 , 5C094FB12 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5C094JA08

引用特許：

出願人引用 (4件)

透明導電膜及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-055393 出願人：株式会社日立製作所
錫添加酸化インジウム三元機能膜及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-282106 出願人：科学技術振興事業団
液晶表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-003711 出願人：株式会社日立製作所

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