特許

J-GLOBAL ID：200903033699926877

光学式振動センサ

発明者： 木村 光照 ,  大澤 理加
出願人/特許権者： 株式会社高岳製作所 ,  木村 光照
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-201971
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035605
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 光ファイバとカンチレバを用いた光学式振動センサにおいて、製造にあたって光学系とカンチレバの位置合わせを確実かつ容易に行うことができるとともに、カンチレバ部分の製造を容易にする。【構成】 基板11に貫通穴11aとその貫通穴と一体形成したカンチレバ12とを設け、そのカンチレバ12とは反対側の貫通穴の位置に、光学レンズ14、蛍光板15、光ファイバ位置指定用の溝16aを有する膜16を形成して、その溝に光ファイバ40を配置する。

請求項（抜粋）：

光反射膜をもつカンチレバと光ファイバとを組合せた光学式振動センサにおいて、基板に貫通穴とその貫通穴と一体形成したカンチレバとを設け、そのカンチレバとは反対側の貫通穴の位置に、光学レンズ、蛍光板、光ファイバ位置指定用の溝を有する膜を形成して、その溝に光ファイバを配置し、光ファイバを通して入射された光が、少なくとも無振動時には上記蛍光板及び光学レンズを通過してカンチレバ上の上記光反射膜で反射し、再び光ファイバに戻るように構成した光学式振動センサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光学式振動センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-310148   出願人：株式会社高岳製作所, 木村光照
• 光学式振動センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-297585   出願人：株式会社高岳製作所, 木村光照