特許
J-GLOBAL ID：200903033701667000
液体供給システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-349611
公開番号（公開出願番号）：特開2007-152208
出願日： 2005年12月02日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】複数のユースポイントへの液体の分配供給を可能とする液体供給システムにおいて、構成の煩雑化を回避しつつ、液体圧力を望み通りに適正に制御する。【解決手段】本システムは、液体を流通させる供給ライン12と、該供給ライン12の途中に設けられたポンプ13と、供給ライン12から分岐させて設けられた複数の分岐ラインLN1〜LNnとを備え、開閉弁21により各分岐ラインLN1〜LNnを個別に開閉して当該各ラインにおける液体の流通を許可又は禁止する一方、各分岐ラインLN1〜LNnの分岐点の下流側で検出した液体圧力が目標値に一致するよう圧力調整用アクチュエータ(リリーフ弁31、電空レギュレータ32)の操作により圧力フィードバック制御を実施する。特に、コントローラ35は、分岐ライン開数を監視し、その監視結果に基づいて圧力フィードバック制御における制御態様を変更する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液体を流通させる液体通路と、該液体通路の途中に設けられ前記液体を圧送する圧送手段と、前記液体通路から分岐させて設けられた複数の分岐通路とを備え、
前記複数の分岐通路を個別に開閉して当該分岐通路における液体の流通を許可又は禁止する一方、前記各分岐通路の分岐点の上流側又は下流側で圧力検出手段により検出した液体圧力が目標値に一致するよう圧力調整用アクチュエータの操作により圧力フィードバック制御を実施する液体供給システムであって、
前記複数の分岐通路を介しての液体の流通状況を監視する監視手段と、
前記監視手段による監視結果に基づいて前記圧力フィードバック制御における制御態様を変更する制御態様変更手段と、
を備えたことを特徴とする液体供給システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
4F042AA07
, 4F042BA07
, 4F042BA12
, 4F042CB10
, 4F042CB11
, 4F042CB18
, 4F042CB24
, 4F042DH09
出願人引用 (1件)
審査官引用 (3件)
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流量安定化装置および方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-051429
出願人：岩田塗装機工業株式会社
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基板処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-262348
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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特開昭55-022368
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