ウェハ搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-285290
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116045
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ウェハ搬送時のウェハの破損を確実に防止できるウェハ搬送装置を提供する。【解決手段】上下動可能にしたウェハカセット13内に多数のウェハ15を積層方向に収容し、搬送するウェハ15下側より搬送アーム18を挿入して保持し、ウェハカセット13より出し入れ可能にしたもので、ウェハカセット13に対する所定の高さ位置に設けたセンサ16、17により、搬送するn番目のウェハ15と、n番目のウェハ15に対し上下に位置されるn-1、n+1番目のウェハ15の、それぞれ撓みの大きい中央部とウェハカセット13のスロット溝14に挿入される周囲縁部の位置を検出し、これらの位置情報に基づいて、各ウェハ15の撓み量を求め、搬送アーム18の搬送するn番目のウェハ下側への挿入およびn番目のウェハをウェハ吸着ストロークでの持ち上げの可能性を判断する。

請求項（抜粋）：

複数のウェハを収納可能なウェハカセットと、このウェハカセットに対して相対的に上下動可能であって所望のウェハを下側から支持してウェハカセットに対する出し入れを行う搬送アームとを備えるウェハ搬送装置において、前記ウェハカセットに対して相対的に上下動可能であって、かつ搬送するウェハおよび該ウェハの上下方向のウェハのそれぞれの少なくとも中央部の位置を検出する位置検出手段を有し、この位置検出手段で検出された各ウェハの位置情報に基づいて各ウェハの撓み量を求めるとともに、搬送するウェハ下側への前記搬送アームの挿入の可能性および前記搬送アームによるウェハの所定ストロークの持ち上げの可能性を判断することを特徴とするウェハ搬送装置。

IPC (2件)：

B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 49/07 F , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-048489 出願人：株式会社ニコン
特開昭62-045036
特開昭63-169040

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