電界発光素子及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-235512
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067461
出願日： 1997年08月18日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】有機EL層を劣化させることなく、ドライエッチングにより電極を形成でき、電極の微細化や基板の大型化を可能にする、電界発光素子及びその製造方法をを提供する。【解決手段】有機EL層13上に、順次、MgInでなる第1金属層14、Alでなる第2金属層15、Crでなるブロッキング層16を積層することにより、ブロッキング層上にフォトリソグラフィー技術を用いてフォトレジスト17をパターン形成する際に、現像液や水分が第2金属層15を通過して第1金属層14や有機EL層13へ浸入するのを防止することができる。このため、ドライエッチングのマスクとしてのフォトレジスト17のパターニングが可能となり、有機EL層13を劣化させることなく、ブロッキング層16と第2金属層14をドライエッチングできる。また、露出した第1金属層14は、酸化されて絶縁部分14Aとなるため、実質的にカソード電極の微細なパターン形成が可能となり、有機EL層13の劣化のない電界発光素子の製造方法を実現できる。

請求項（抜粋）：

一対の電極に挟まれた電界発光素子において、前記一対の電極の一方は、第1金属層と、この第1金属層上に形成された第2金属層と、第2金属層の結晶構造と異なる結晶構造を有するブロッキング層と、を有することを特徴とする電界発光素子。

IPC (2件)：

H05B 33/26 , H05B 33/10

FI (2件)：

H05B 33/26 , H05B 33/10

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-006795
有機EL素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-173088 出願人：沖電気工業株式会社
特開平4-366592

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