テープキャリアパッケージの外観検査装置及び検査方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-291182
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145913
出願日： 1994年11月25日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】テープキャリアパッケージの表裏両面の外観検査を短時間で行う。【構成】テープキャリアパッケージ1が所定ピッチで設けられているテープキャリア2を移送手段9にてピッチ送りし、移送手段9における移送経路10の適所に第1と第2のラインカメラ11、12を配設するとともにそれらをX-Yテーブル13にて走査移動させることによったキャリアパッケージ1の表面と裏面をそれぞれ互いに異なった位置で同時に撮像し、撮像した画像データに基づいて画像処理検査処理部16にて外観検査を行うようにした。

請求項（抜粋）：

テープキャリアパッケージが所定ピッチで設けられているテープキャリアをピッチ送りする移送手段と、移送手段における移送経路の適所にテープキャリアパッケージの表面と裏面をそれぞれ互いに異なった位置で撮像する第1と第2の撮像手段と、第1と第2の撮像手段による撮像を同時に行うように移送手段及び第1と第2の撮像手段を制御する制御手段と、撮像した画像データから外観検査を行う検査手段とを備え、第1と第2の撮像手段が一次元のラインカメラとその走査移動手段とから成ることを特徴とするテープキャリアパッケージの外観検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/89 , G01R 31/26 , H01L 21/66 , H01L 23/02

引用特許：

審査官引用 (9件)

画像検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-355609 出願人：ウシオ電機株式会社
帯状体の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-183575 出願人：新日本製鐵株式会社, 日本インターコネクションシステムズ株式会社
特開平1-173804

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