特許

J-GLOBAL ID：200903033853358720

ガス放電パネルの製造方法

発明者： 米原 浩幸 ,  鈴木 茂夫 ,  渡邉 拓 ,  芦田 英樹 ,  日比野 純一 ,  山下 勝義
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058205
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260309
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 表示品質の良いディスプレイパネルを実現する。【解決手段】 放電空間を規定する隔壁形成工程が、基板103の上に感光性被覆層104を形成する第1工程(b)と、感光性被覆層に所定パターンの開溝部の溝106を形成する第2工程(c,d)と、少なくとも溝106の内部に隔壁材料を所定の高さまで形成する第3工程(f)と、感光性被覆層を除去し、所定の形状の隔壁107を得る第4工程(g)を有し、第3工程の前に、溝106の内部をオゾン等を用いて清浄化処理する工程(e)を含むことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

放電空間を規定する隔壁形成工程が、基板の上に感光性被覆層を形成する第1工程と、該感光性被覆層に所定パターンの開溝部を形成する第2工程と、該開溝部の内部に隔壁材料を所定の高さまで形成する第3工程と、該感光性被覆層を除去し、所定の形状の前記隔壁を得る第4工程を有し、前記第3工程の前に、少なくとも前記開溝部の内部を清浄化処理する工程を含むことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。

IPC (8件)：

H01J 9/02 ,  B05D 1/08 ,  B05D 3/04 ,  B05D 3/10 ,  G09F 9/30 320 ,  G09F 9/313 ,  H01J 11/02 ,  H04N 5/66 101

FI (8件)：

H01J 9/02 F ,  B05D 1/08 ,  B05D 3/04 Z ,  B05D 3/10 F ,  G09F 9/30 320 ,  G09F 9/313 A ,  H01J 11/02 B ,  H04N 5/66 101 A

Fターム (40件)：

4D075AD16 ,  4D075BB04Z ,  4D075BB20Z ,  4D075BB23Y ,  4D075BB49Z ,  4D075BB65Z ,  4D075BB78Z ,  4D075BB81Z ,  4D075BB83X ,  4D075DA06 ,  4D075DB14 ,  4D075DC21 ,  4D075EA45 ,  5C027AA09 ,  5C040GB08 ,  5C040GF19 ,  5C040JA02 ,  5C040JA07 ,  5C040JA15 ,  5C040JA17 ,  5C040JA20 ,  5C040JA23 ,  5C040MA23 ,  5C040MA24 ,  5C058AA11 ,  5C058AB08 ,  5C058BA35 ,  5C094AA02 ,  5C094AA31 ,  5C094AA43 ,  5C094AA55 ,  5C094BA31 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094EC03 ,  5C094EC04 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-223392
  
• プラズマディスプレイパネル及びプラズマディスプレイパネルの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-326818   出願人：松下電器産業株式会社
• レリーフパターンの設けられた基板、その基板の製造法、プラズマディスプレイパネルのバリアリブの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-044717   出願人：日立化成工業株式会社
• 特開平4-223392