特許

J-GLOBAL ID：200903093245072612

光スイッチ

発明者： 加藤 嘉睦
出願人/特許権者： 日本航空電子工業株式会社
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057427
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258702
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 小型化、低電圧駆動を可能にする。【解決手段】 導電性が与えられたシリコン基板31上に正方形状可動電極板32が配され、可動電極板32の各辺の中央に長方形の切除部41〜44が形成され、切除部41〜44に折り返しビーム状支持体33〜36が配され、支持体33〜36の内端が可動電極板32に連結され、外端が固定部45〜48を介して基板31上に連結される。可動電極板32上にミラー49が立てられる。

請求項（抜粋）：

基板と、その基板表面と対向して平行に配され、基板表面に対し垂直に変位できる可動電極板と、その可動電極板上に直立されたミラーと、上記可動電極板に一端が、他端が上記基板にそれぞれ連結され、可動電極板を基板上に支持する弾性を有する支持体とを具備し、可動電極板と基板の固定電極との間に電圧印加、その除去により可動電極板及びミラーを変位させ、ミラーに向かう光束を通過又は反射させる光スイッチにおいて、上記支持体が占める領域と上記可動電極板が占める領域とが、全体として方形領域を形成していることを特徴とする光スイッチ。

Fターム (4件)：

2H041AA13 ,  2H041AB13 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 偏向可能デバイスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-106876   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
• マイクロミラー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-321451   出願人：富士電機株式会社
• 光偏向装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-275047   出願人：オムロン株式会社