特許
J-GLOBAL ID：200903033969677092

スピンドルユニット及び切削装置

発明者：
川上 剛司

川上 剛司 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-131069
公開番号（公開出願番号）：特開2009-279662
出願日： 2008年05月19日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】回転スピンドルに対する切削ブレードの交換時における切削ブレードの外れや破損を回避し、作業効率の向上を図れるようにする。【解決手段】エアーシール溝217に連通し高圧エアー源24から高圧エアーが供給される第2のエアー供給経路218が、ロック装置23へ分岐する分岐経路219を有し、この分岐経路219の分岐点に切換えバルブ25を備えることで、回転スピンドル20に対する切削ブレード3の交換時には、切換えバルブ25を切換え制御して高圧エアー源24からエアーシール溝217側に供給されている高圧エアーを分岐経路219を介してロック装置23側に切換えることで、交換途中の切削ブレード3に対するエアーシール溝217からのエアー噴出を抑制するようにした。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
先端に切削ブレードを装着する回転スピンドルと、該回転スピンドルをラジアルエアーベアリング及びスラストエアーベアリングによって回転可能に支持するスピンドルハウジングと、前記回転スピンドルを回転駆動する回転駆動部と、前記ラジアルエアーベアリング及び前記スラストエアーベアリングに高圧エアーを供給する第1のエアー供給経路とを有するスピンドルユニットであって、 前記スピンドルハウジングは、エアー圧で駆動するシャフトロックピンにより前記回転スピンドルの回転をロックするロック装置と、前記スピンドルハウジング先端部の内周側に設けられたエアーシール溝と、該エアーシール溝に連通し高圧エアー源から高圧エアーが供給される第2のエアー供給経路とを備え、 前記第2のエアー供給経路は、前記ロック装置へ分岐する分岐経路を有し、 該分岐経路の分岐点に切換えバルブを備えることを特徴とするスピンドルユニット。
IPC (3件)：
B24B 41/04 ,  B23B 19/02 ,  H01L 21/301
FI (3件)：
B24B41/04 ,  B23B19/02 B ,  H01L21/78 F
Fターム (7件)：
3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034BB07 ,  3C034BB09 ,  3C034DD10 ,  3C034DD20 ,  3C045FD14
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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