特許

J-GLOBAL ID：200903033995374014

多軸モノリシック加速度センサ

発明者： カプセル, コンラート ,  プレヒテル, ウルリヒ ,  ザイデル, ヘルムート
出願人/特許権者： コンティ テミック マイクロエレクトロニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ,  エーアーデーエス・ドイツチユランド・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 中平 治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-511842
公開番号（公開出願番号）：特表2005-529336
出願日： 2003年06月10日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

1.多軸モノリシック加速度センサ2.1.公知の加速度センサでは、主感度軸と法線との間の位相角が、最高20°の範囲でのみ設定可能である。即ち加速度センサは、3つの空間軸に関して異なる特性を持ち、これが電子評価装置に高度の要求を課し、車両における使用を排除している。2.2.多軸モノリシック加速度センサは次の特徴を持っている。加速度センサが、共通な基板上に設けられてそれぞれ1つの主感度軸を持つ複数の個別センサから成り、各個別センサが、2つのねじりばね素子に回転運動可能に懸架され、かつ重心を有する地震質量を持ち、各個別センサが地震質量の偏向を測定する手段を持ち、加速度センサが少なくとも3つの同一な個別センサから成り、各個別センサが、その重心に対して偏心して懸架され、他の個別センサに対して、90°,180°又は270°回されている。2.3.本発明は、車両において使用するため高級でオフセット安定な容量センサに特に適している。(図1)

請求項（抜粋）：

3軸モノリシック加速度センサ(1)であって、次の特徴を持つ a)加速度センサ(1)が、共通な基板(8)上に設けられてそれぞれ1つの主感度軸(11)を持つ複数の個別センサ(2a〜2d)から成り、 b)各個別センサ(2a〜2d)が、2つのねじりばね素子(4a〜4b)に回転運動可能に懸架され、かつ重心(Sa,Sb,Sc,Sd)を有する地震質量(3a〜3d)を持ち、 c)各個別センサ(2a〜2d)が地震質量(3a〜3d)の偏向を測定する手段(10)を持っている ものにおいて、 d)加速度センサ(1)が少なくとも3つの同一な個別センサ(2a〜2d)から成り、 e)各個別センサ(2a〜2d)が、その重心(Sa,Sb,Sc,Sd)に対して偏心して懸架され、 f)他の個別センサ(2a〜2d)に対して、90°,180°又は270°回されていることを特徴とする、3軸モノリス加速度センサ。

IPC (1件)：

G01P15/18

FI (1件)：

G01P15/00 K

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 加速度測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-341805   出願人：テミツクテレフンケンマイクロエレクトロニツクゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング, ダイムラー-ベンツ・アクチエンゲゼルシヤフト
• 超小型機械的加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-325789   出願人：テミツク・テレフンケン・マイクロエレクトロニツク・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング