特許

J-GLOBAL ID：200903036140961159

加速度測定装置

発明者： ヘルムート・ザイデル ,  ヨーゼフ・シヤルク ,  ウルリヒ・プレヒテル
出願人/特許権者： テミツク テレフンケン マイクロエレクトロニツク ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング ,  ダイムラー-ベンツ・アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 中平 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-341805
公開番号（公開出願番号）：特開平10-177033
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【目的】 安価に製造可能で精雅な寸法を持つ加速度測定装置を提供する。【構成】 加速度測定装置は、共通な基板10上に設けられかつそれぞれ1つの主感度軸12a,12cを持つ少なくとも2つの個別センサ2a,2cを含み、各個別センサ2a,2cは、撓み梁4a,4cに結合されかつ重心Sa,Scを持つ地震質量としての片持ちパドル片3a,3cを持つている。各撓み梁4a,4cは地震質量の偏向を測定する手段それぞれを持ち、すべての撓み梁は基板10の表面に対して平行に設けられている。それぞれの個別センサ2a,2cの主感度軸12a,12cは、基板表面の法線14a,14cに対してそれぞれ位相角αを持つている。

請求項（抜粋）：

a)加速度測定装置が、共通な基板(10;26)上に設けられかつそれぞれ主感度軸(12a〜12d;22a,22b)を持つ少なくとも2つの個々の個別センサ(2a〜2d;17a,17b)を含み、b)各個別センサ(2a〜2d;17a,17b)が、撓み梁(4a〜4d;19a,19b)に結合されかつ重心(Sa,Sb,Sc,Sd;SA,SB)を持つ地震質量としての片持ちパドル片(3a〜3d;18a,18b)を持ち、c)各撓み梁(4a〜4d;19a,19b)が地震質量の偏向を測定する手段を持ち、d)すべての撓み梁(4a〜4d;19a,19b)が基板(10;26)の表面に対して平行に設けられているものにおいて、それぞれの個別センサ(2a〜2d;17a,17b)の主感度軸(12a〜12d;22a,22b)が基板表面の法線(13a〜13d;23a,23b)に対してそれぞれ位相角(α;α′)を持つていることを特徴とする、加速度測定装置。

IPC (2件)：

G01P 15/12 ,  G01L 5/16

FI (2件)：

G01P 15/12 ,  G01L 5/16

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-297528   出願人：曙ブレーキ工業株式会社, 株式会社曙ブレーキ中央技術研究所
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-144474   出願人：日本電装株式会社
• 力成分を測定する単結晶材料製のデバイスおよびこのデバイスの製造方法およびこのデバイスの使用方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平6-513062   出願人：アンダーソンガート
• 加速度センサユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-078748   出願人：オムロン株式会社