光学装置用の照明ユニット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-529931
公開番号（公開出願番号）：特表平11-504443
出願日： 1996年07月16日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】放射源(3)と、第1の光積分基板(11)とをこの順序で有する照明システム(1)を含む光学装置用の照明ユニット(2)。この照明ユニット(2)は、さらに放射感知検出器(47)を含む検出系(45)を具える。照明システム(1)は第2の光積分器(13)を具える。少なくとも1個のプリズム(17)を具えるプリズム系(15)を2個の積分器(11,13)間に光路中に設ける。プリズム系(15)は光を照明システム(1)から取り出すことができる取出面と、主光路中の光強度にほとんど影響を与えることなく光をプリズム系(15)から出射させる出射面とを有する。検出系(45)はプリズム系(15)の出射面に近接して配置され光積分手段を具える。本発明は光学装置、特にこのような照明ユニット(2)が設けられているリソグラフィ投影装置にも関するものである。

請求項（抜粋）：

放射源ユニットと、第1の光積分器と、照明光量を測定する放射感知検出器を含む検出系とをこの順序で具える照明システムを含む光学装置用の照明ユニットにおいて、前記照明システムが第2の光積分器を具え、前記2個の積分器が少なくとも1個のプリズムを具えるプリズム系を包囲し、このプリズム系が一部の光を照明システムから出射させる取出面を有し、前記検出系の出射開口をプリズム系の出射面付近に位置することを特徴とする照明ユニット。

IPC (3件)：

G02B 27/09 , G03F 7/22 , H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 27/00 E , G03F 7/22 H , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 527

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭61-072219
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-009069 出願人：株式会社ニコン
照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-019098 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (10件)

特開昭61-072219
特開昭61-072219
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-009069 出願人：株式会社ニコン

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