特許
J-GLOBAL ID:200903034050568560

光導波路デバイスおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-136269
公開番号(公開出願番号):特開2001-318252
出願日: 2000年05月09日
公開日(公表日): 2001年11月16日
要約:
【要約】【課題】 温度変化があっても小型の機構で光学的特性の変化を抑制することができる光導波路デバイスを提供する。【解決手段】 光導波路デバイス1は、正の線膨張係数を有する第1主部材11と負の線膨張係数を有する副部材12とが互いに固定されたものである。第1主部材11には、アンダークラッド11Uの平面上にコア11Cが形成され、更にこれらの上にオーバークラッド11Oが形成されている。第1主部材11は、例えば石英ガラスやシリコンをベースとする材料からなり、屈折率を上昇させるための添加物がコア11Cに添加されている。高屈折率のコア11Cの周囲が低屈折率のアンダークラッド11Uおよびオーバークラッド11Oに包囲されていて、平面上に光導波路が形成されている。副部材12は、この第1主部材11のオーバークラッド11Oの上面に固定されている。
請求項(抜粋):
光導波路が形成され正の線膨張係数を有する平板状の第1主部材の少なくとも一方の平面に、負の線膨張係数を有する副部材が固定されている、ことを特徴とする光導波路デバイス。
IPC (2件):
G02B 6/122 ,  G02B 6/13
FI (2件):
G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M
Fターム (7件):
2H047KA04 ,  2H047PA00 ,  2H047PA05 ,  2H047PA24 ,  2H047TA00 ,  2H047TA01 ,  2H047TA21
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (2件)

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