特許
J-GLOBAL ID：200903031777333605

導波型光回路及びその製造方法

発明者：
▼高▲橋 浩

▼高▲橋 浩 について

, 
姫野 明

姫野 明 について


出願人/特許権者：
日本電信電話株式会社

日本電信電話株式会社 について


代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-194420
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039150
出願日： 1996年07月24日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 本発明は光通信システム、光情報処理装置に用いられる導波型光デバイス、特に、導波型光干渉計等の導波型光回路及びその製造方法を提供する。【解決手段】 シリコン基板1と該基板上に形成された平面型光導波路を少なくとも含む導波型光回路2であって、上記シリコン基板1の上側に、熱膨張係数が上記基板と異なる層であるチタン添加石英系ガラス板3を形成し、シリコン基板の伸縮を抑えて、動作波長の温度依存性を低減してなる。
請求項（抜粋）：
基板と該基板上に形成された平面型光導波路を少なくとも含む導波型光回路であって、上記基板の下側又は上記平面型光導波路の上側又はその両方に、熱膨張係数が上記基板と異なる層を形成してなることを特徴とする導波型光回路。
IPC (2件)：
G02B 6/122 ,  G02B 6/13
FI (2件)：
G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M
引用特許：
審査官引用 (7件)
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