特許
J-GLOBAL ID：200903034078357786
放射線イメージングデバイス
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-196637
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037334
出願日： 2002年07月05日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】高感度且つ高解像度であると共に、長期間にわたって安定した信頼性のある放射線イメージングデバイスを提供する。【解決手段】X線/γ線などの放射線を可視光に変換する放射線シンチレータ1と可視光を可視画像に変換する固体撮像素子2とを重ね合わせてなる放射線イメージングデバイスにおいて、放射線シンチレータを、固体撮像素子の画素に対応させて複数の貫通穴6を形成した基板5を用い、貫通穴の側壁には金属膜8を形成すると共に、該貫通穴にシンチレータ材料7を充填し、更に表面側に保護層9を介して金属膜を形成し、裏面側には下部保護層10を形成して構成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
少なくともX線/γ線などの放射線を可視光に変換するシンチレータ部と可視光イメージセンサ部とを有する放射線イメージングデバイスにおいて、前記シンチレータ部は、基板に多数の貫通穴を設け、該貫通穴にシンチレータ材料を埋め込むことにより構成されていることを特徴とする放射線イメージングデバイス。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01T1/20 B
, G01T1/20 D
, H01L31/00 A
2G088FF02
, 2G088FF04
, 2G088GG16
, 2G088GG19
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 5F088AB01
, 5F088BA01
, 5F088BA13
, 5F088BA20
, 5F088CB05
, 5F088CB14
, 5F088CB20
, 5F088DA17
, 5F088EA03
, 5F088EA04
, 5F088EA11
, 5F088EA13
, 5F088GA04
, 5F088HA09
, 5F088HA11
, 5F088JA17
, 5F088LA07
, 5F088LA08
