特許

J-GLOBAL ID：200903034163930738

感光性有機無機複合材料およびそれを用いた半導体装置

発明者： 高橋 豊誠 ,  川口 均
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-186414
公開番号（公開出願番号）：特開2008-310345
出願日： 2008年07月17日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：

【課題】 温度サイクル信頼性に優れた感光性有機無機複合材料および半導体装置を提供すること。【解決手段】 感光性樹脂、及び無機フィラーから構成される感光性有機無機複合材料において、無機フィラーの含有量が30体積%以上75体積%未満であり、好ましくは無機フィラーが、鱗片状もしくは板状の形状を有し、最大粒径が50μm以下、アスペクト比が4以上50以下であり、2次凝集を起こすことなく、樹脂中に層状に積み重なるように分散されている感光性有機無機複合材料、及びそれを用いた半導体装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

感光性樹脂、及び無機フィラーから構成される感光性有機無機複合材料において、無機フィラーの含有量が30体積%以上75体積%未満であることを特徴とする感光性有機無機複合材料。

IPC (3件)：

G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/28

FI (3件)：

G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  H05K3/28 D

Fターム (20件)：

2H025AA13 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC42 ,  2H025CA05 ,  2H025CC08 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  2H025FA43 ,  5E314AA27 ,  5E314AA42 ,  5E314BB02 ,  5E314CC15 ,  5E314DD07 ,  5E314EE03 ,  5E314GG09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 磁性フィラーを含有する感光性樹脂組成物及び感光性フィルム並びにそれらを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-188500   出願人：太陽インキ製造株式会社
• 紫外線硬化型樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-263667   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-324405   出願人：住友ベークライト株式会社