特許
J-GLOBAL ID:200903034214862716
照明装置、及び顕微鏡システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大菅 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-155698
公開番号(公開出願番号):特開2007-322348
出願日: 2006年06月05日
公開日(公表日): 2007年12月13日
要約:
【課題】複数の波長域の光を利用した観察若しくは検査において適切な照明を提供する。【解決手段】ダイクロイックミラー3a〜3cは、光源1からの光より、異なる波長域の光を抽出する。シャッタ23a〜23cは、ダイクロイックミラー3a〜3cの各々によって抽出された光を各々遮蔽する。駆動回路98は、シャッタ23a〜23cで遮蔽させる光の選択を行う。ダイクロイックミラー3a〜3cは、シャッタ23a〜23cで遮蔽されなかった光を混合する。混合された光は、選択波長集光ポジション7に集光される。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
光源からの光より、異なる波長域の光を抽出する複数の波長域抽出手段と、
前記波長域抽出手段の各々によって抽出された光を各々遮蔽する遮蔽手段と、
前記遮蔽手段で遮蔽させる光を選択する選択手段と、
前記遮蔽手段で遮蔽されなかった光を混合する混合手段と、
を有することを特徴とする照明装置。
IPC (3件):
G01N 21/84
, G02B 21/06
, G02B 21/36
FI (3件):
G01N21/84 E
, G02B21/06
, G02B21/36
Fターム (17件):
2G051BA04
, 2G051BA08
, 2G051BB07
, 2G051BB15
, 2G051BC03
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051CC15
, 2G051DA07
, 2G051DA08
, 2H052AC14
, 2H052AC28
, 2H052AD31
, 2H052AF14
, 2H052AF25
引用特許:
出願人引用 (3件)
-
測光システム用光源切換装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-177987
出願人:株式会社ニコン
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プレパラートの多色照明用装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平7-513531
出願人:ライカレーザーテヒニークゲーエムベーハー
-
実用新案登録第3115100号公報
審査官引用 (12件)
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