特許

J-GLOBAL ID：200903034242743854

真空容器

発明者： 岡部 星児
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-291989
公開番号（公開出願番号）：特開2005-064213
出願日： 2003年08月12日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】蓋体を小型/軽量化でき、かつメンテナンス性を含めたトータルコストを低減することができる真空容器を提供する。【解決手段】真空容器10は、上端に開口部を有する筐体11と、この筐体11の上端開口から内部を封止する開閉可能な蓋体12とを備え、蓋体12を第1、第2の蓋部材12A、12Bとして二分割すると共にこれらの蓋部材12A、12Bと筐体11の上端面11Aとの間にシール補助部材18を設けた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

筐体と、この筐体の上端開口部から内部を封止する開閉可能な蓋体とを備えた真空容器において、上記蓋体を複数の蓋部材に分割すると共にこれらの蓋部材と上記筐体の上端との間に封止補助部材を介装したことを特徴とする真空容器。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (10件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031LA15 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA04 ,  5F031NA07 ,  5F031NA10 ,  5F031PA06 ,  5F031PA18

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 処理装置及び処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-095586   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 真空チャンバ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-270593   出願人：株式会社エフオーアイ, 株式会社神戸製鋼所
• 特開平3-145724
  

審査官引用 (3件)

• 真空チャンバ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-270593   出願人：株式会社エフオーアイ, 株式会社神戸製鋼所
• 特開平3-145724
  
• 特開平3-145724