特許

J-GLOBAL ID：200903034297137619

干渉検出装置、トモグラフィー装置

発明者： 興梠 元伸 ,  大津 元一
出願人/特許権者： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-046831
公開番号（公開出願番号）：特開2001-227911
出願日： 2000年02月18日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】 光の干渉を利用した試料の内部構造の測定を短時間で行う。【解決手段】 周波数f1の第1の信号を用いて周波数f1間隔ごとに側帯波を有する参照光を生成する第1の光周波数コム発生器5と、周波数f2の第2の信号を用いて周波数f2間隔ごとに側帯波を有する物体光を生成する第2の光周波数コム発生器6と、参照光と物体光との干渉タイミングを第1の信号及び第2の信号間の位相差又は周波数差を変化させて干渉光の干渉による光強度の変化を検出することにより、電気的に参照光と物体光との間の出射タイミングの掃引を行い、干渉位置を検出するときの動作を高速とする。

請求項（抜粋）：

可干渉性を有する光を出射する光源と、周波数f1の第1の信号を生成する第1の信号生成手段と、上記第1の信号生成手段からの第1の信号を用いて上記光源からの光を変調して、上記光源からの光に周波数f1間隔ごとに側帯波を有する参照光を生成する第1の光周波数コム発生手段と、周波数f2の第2の信号を生成する第2の信号生成手段と、上記第2の信号生成手段からの第2の信号を用いて上記光源からの光を変調して、上記光源からの光に周波数f2間隔ごとに側帯波を有する物体光を生成する第2の光周波数コム発生手段と、上記第1の光周波数コム発生手段からの参照光と、上記第2の光周波数コム発生手段で生成され被測定物体で反射された物体光と、を合成した干渉光を生成する合成手段と、上記第1の光周波数コム発生手段からの参照光と上記第2の光周波数コム発生手段からの物体光との干渉タイミングを第1の信号及び第2の信号間の位相差又は周波数差を制御して上記干渉光の干渉による光強度の変化を検出する検出手段とを備えることを特徴とする干渉検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01N 21/45

FI (2件)：

G01B 11/00 G ,  G01N 21/45 A

Fターム (45件)：

2F065AA30 ,  2F065AA51 ,  2F065AA52 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065FF32 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG08 ,  2F065GG23 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065LL53 ,  2F065LL57 ,  2F065MM16 ,  2F065NN02 ,  2F065NN05 ,  2F065NN06 ,  2F065NN08 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059CC20 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059GG08 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 位置ずれの計測方法、及び計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-023677   出願人：株式会社ニコン
• 計測装置及び計測方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-187774   出願人：ソニー株式会社