特許
J-GLOBAL ID：200903064951208187

計測装置及び計測方法

発明者：
岡 美智雄

岡 美智雄 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-187774
公開番号（公開出願番号）：特開2000-018916
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 計測対象物のより微細な構造や深さ方向の構造の計測が可能な計測装置及び計測方法を提供する。【解決手段】 固体レーザー光源からのレーザー光に対して波長変換を行うことにより紫外線レーザー光を発生させ、上記紫外線レーザー光を用いたヘテロダイン検出又はホモダイン検出により計測対象物の構造を計測する。これにより、より微細な構造を計測することが可能となる。或いは、レーザー光を複数に分割するとともに、それらのレーザー光が異なる周波数となるように周波数シフトを施し、各レーザー光をそれぞれ異なる焦点位置に結像させてヘテロダイン検出を行う。そして、得られたヘテロダイン信号を周波数帯域分離することで、各結像点に対応した計測対象物の構造をそれぞれ計測する。これにより、計測対象物の深さ方向の構造についても計測することが可能となる。
請求項（抜粋）：
固体レーザー光源からのレーザー光に対して波長変換を行うことにより紫外線レーザー光を発生させる紫外線レーザー光発生手段と、上記紫外線レーザー光を用いたヘテロダイン検出又はホモダイン検出により計測対象物の構造を計測する計測手段とを備えることを特徴とする計測装置。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ,  G01B 9/02
FI (2件)：
G01B 11/00 G ,  G01B 9/02
Fターム (33件)：
2F064AA09 ,  2F064CC04 ,  2F064FF02 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG38 ,  2F064GG39 ,  2F064GG53 ,  2F064GG55 ,  2F064GG68 ,  2F064GG70 ,  2F064HH06 ,  2F065AA25 ,  2F065DD03 ,  2F065FF52 ,  2F065GG06 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL00 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL53 ,  2F065LL57 ,  2F065MM03 ,  2F065NN06 ,  2F065NN08 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13
引用特許：
審査官引用 (7件)
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