粒子分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：西村竜平 , 佐藤明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-141713
公開番号（公開出願番号）：特開2007-309895
出願日： 2006年05月22日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：

【課題】簡単な構造でありながら、イオン化するためのレーザを粒子に確実に照射できるようにすること及びそのレーザの誤射を防止する。【解決手段】測定対象である粒子を所定方向に移動させる粒子移動手段2と、粒子Sに対し、検出光Lを照射する光源31と、その検出光Lの照射によって生じる散乱光LSを検出する光検出器32と、その光検出器32から出力された光強度信号を受信し、その光強度信号の値に基づいて粒子Sの粒径を算出する粒径算出部61と、検出光Lが照射された粒子Sに対し、その移動方向と対向する方向からエネルギ線ELを照射して、その粒子Sをイオン化するイオン化部4と、イオン化された粒子の質量分析を行う質量分析部5と、を備え、前記質量分析部5が、前記光検出器32からの光強度信号を受け付け、その信号の時間波形をパラメータとして、エネルギ線ELの照射タイミングを決定する照射タイミング決定部63を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象である粒子を所定方向に移動させる粒子移動手段と、前記粒子に対し、検出光を照射する光源と、その検出光の照射によって生じる散乱光を検出する光検出器と、前記検出光が照射された粒子に対し、その移動方向と対向する方向からエネルギ線を照射して、その粒子をイオン化するイオン化部と、前記イオン化された粒子の質量分析を行う質量分析部と、を備え、前記質量分析部が、前記光検出器からの光強度信号を受け付け、その信号の時間波形をパラメータとして、前記エネルギ線の照射タイミングを決定する照射タイミング決定部を備えている粒子分析装置。

IPC (5件)：

G01N 15/06 , G01N 15/02 , G01N 27/64 , G01N 27/62 , H01J 49/10

FI (5件)：

G01N15/06 D , G01N15/02 A , G01N27/64 B , G01N27/62 K , H01J49/10

Fターム (10件)：

2G041CA01 , 2G041DA03 , 2G041EA07 , 2G041GA02 , 2G041GA03 , 2G041GA05 , 2G041GA06 , 2G041GA07 , 2G041GA08 , 5C038GG07

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第4,383,171号明細書

審査官引用 (6件)

粒子組成分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-192458 出願人：株式会社島津製作所
試料分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-055030 出願人：三菱重工業株式会社
フロー式粒子画像解析方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-250524 出願人：株式会社日立製作所

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