ガス中の微粒子成分計測装置及び方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-255986
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071492
出願日： 2004年09月02日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】ガス成分を排除して微粒子成分のみの分析を良好に行うことができるガス中の微粒子成分計測装置及び方法を提供する。【解決方法】複数の減圧度の異なる第1の減圧室11-1と第2の減圧室11-2からなる減圧チャンバ11と、減圧度の高い第1の減圧室11-1に設けられ、微粒子成分を含むガス12を導入するガス導入部13と、減圧度の高い第1の減圧室11-1と減圧度の低い第2の減圧室11-2とを連通すると共に、導入されたガス成分12aと微粒子成分12bとを分離する分離部14と、減圧度の低い第2の減圧室11-2内に導入された微粒子成分12bをプラズマ化させるプラズマ化装置であるレーザ装置から照射されるレーザ光Lと、該プラズマ化装置15により発生したプラズマ16を計測する検出装置である光検出器17とを具備してなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ガス中の微粒子成分を計測するガス中の微粒子成分計測装置であって、複数の減圧度の異なる減圧室からなる減圧チャンバと、減圧度の高い減圧室に設けられ、微粒子成分を含むガスを導入するガス導入部と、減圧度の高い減圧室と減圧度の低い減圧室とを連通すると共に、導入されたガス成分と微粒子成分とを分離する分離部と、減圧度の低い減圧室内に導入された微粒子成分をプラズマ化させるプラズマ化装置と、該プラズマ化装置により発生したプラズマを計測する検出装置とを具備してなることを特徴とするガス中の微粒子成分計測装置。

IPC (5件)：

G01N 21/63 , G01N 15/00 , G01N 21/67 , G01N 27/62 , G01N 27/64

FI (5件)：

G01N21/63 A , G01N15/00 A , G01N21/67 A , G01N27/62 V , G01N27/64 B

Fターム (19件)：

2G043AA01 , 2G043BA01 , 2G043BA02 , 2G043BA05 , 2G043CA01 , 2G043CA06 , 2G043DA01 , 2G043DA05 , 2G043DA08 , 2G043EA09 , 2G043EA10 , 2G043EA17 , 2G043GA07 , 2G043GB01 , 2G043GB08 , 2G043HA05 , 2G043KA08 , 2G043KA09 , 2G043LA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

微粒子分析装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-097327 出願人：理化学研究所

審査官引用 (10件)

特開昭63-252244
微粒子計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-103770 出願人：横河電機株式会社
特開昭61-200663

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