特許
J-GLOBAL ID：200903034338347330
多層膜の形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-307639
公開番号（公開出願番号）：特開2007-113091
出願日： 2005年10月21日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：
【課題】 膜厚制御誤差が小さい多層膜の形成方法を提供する。【解決手段】 蒸着源4を有するチャンバ1内に、複数の基板を保持するホルダ5と、成膜中に所定の観測波長の光に対する反射率又は透過率をモニタして各層の膜厚を制御するために、各層を形成するごとに切り替わってホルダ5の開口部5aに露出する複数の第一のモニタ基板11と、多層膜の反射率又は透過率の分光特性をモニタするために、ホルダ5上に設置された第二のモニタ基板12とを有する装置により基板上に多層膜を形成する方法であって、第一のモニタ基板11の各層の反射率又は透過率から算出される各層の屈折率と、各層の屈折率及び第二のモニタ基板12上の多層膜の反射率又は透過率の分光特性から推定される各層の物理膜厚とに基づいて以降形成する層の膜厚の設計値を変更する工程を有することを特徴とする方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
蒸着源を有するチャンバ内に、複数の基板を保持するホルダと、成膜中に所定の観測波長の光に対する反射率又は透過率をモニタして各層の膜厚を制御するために、各層を形成するごとに切り替わって前記ホルダの開口部に露出する複数の第一のモニタ基板と、多層膜の反射率又は透過率の分光特性をモニタするために、前記ホルダ上に設置された第二のモニタ基板とを有する装置により前記基板上に多層膜を形成する方法であって、前記第一のモニタ基板の各層の反射率又は透過率から算出される各層の屈折率と、前記各層の屈折率及び前記第二のモニタ基板上の多層膜の反射率又は透過率の分光特性から推定される各層の物理膜厚とに基づいて以降形成する層の膜厚の設計値を変更する工程を有することを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2H048GA04
, 2H048GA14
, 2H048GA19
, 2H048GA33
, 2H048GA60
, 2H048GA61
, 4K029BA43
, 4K029BA46
, 4K029BB02
, 4K029BC07
, 4K029BD09
, 4K029CA01
, 4K029CA03
, 4K029DB05
, 4K029DB21
, 4K029EA01
