特許
J-GLOBAL ID：200903034343747001
光スイッチ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-359418
公開番号（公開出願番号）：特開2005-018015
出願日： 2003年10月20日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：
【課題】本発明は、消費電力が少なくパッケージング工程が容易でありながらスイッチング速度が速い光スイッチを提供する。【解決手段】本発明による光スイッチは、光信号が入力される入力側光ファイバ31に連結される入力側導波路32;光信号が出力されるべき多数の出力側光ファイバ33に各々連結される多数の出力側導波路34a、34b;前記入力側導波路32と出力側導波路34との間に位置し、固定部38と、前記固定部38にスプリングで連結され所定の力により動き変位が生じる可動部36とで成るMEMS構造のアクチュエータ37;及び、前記アクチュエータ37の可動部36上においてその変位方向に応じて各々前記可動部36が動き、その一端が前記入力側導波路32と向き合う際、各々の出力端は対応する多数の出力側導波路34と各々向き合うよう形成される多数の可動導波路35a、35bから成る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光信号が入力される入力側光ファイバに連結される入力側導波路と、
光信号が出力されるべき多数の出力側光ファイバに各々連結される多数の出力側導波路と、
前記入力側導波路と出力側導波路との間に位置し、固定部と、前記固定部にスプリングで連結されて所定の力により動き変位が生じる可動部とで成るMEMS構造のアクチュエータと、
前記アクチュエータの可動部上において当該可動部の変位方向に応じて各々前記可動部が動き、当該可動部の一端が前記入力側導波路と向き合う場合、各々の出力端は対応する多数の出力側導波路と各々向き合うよう形成される多数の可動導波路と、
を有することを特徴とする光スイッチ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2H041AA14
, 2H041AB21
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
