光スイッチ及び光スイッチアレイ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289611
公開番号（公開出願番号）：特開2003-057569
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】小型化・高集積化を図ることができる光スイッチ及びスイッチアレイを提供する。【解決手段】光スイッチ1は、光路が形成された平面導波路2を有し、この平面導波路2の上面には溝部4が設けられている。平面導波路2上には片持ち梁構造の可動部材7が載置され、この可動部材7の先端側部分には櫛歯部8が形成されている。また、可動部材7の先端部には、光路上を通る光を遮断するミラー9が固定されている。また、平面導波路2上には、可動部材7に対向する電極10が設けられ、この電極10における櫛歯部8に対向する部位には櫛歯部11が形成されている。可動部材7と電極10は電圧源14を介して接続されている。この電圧源14により可動部材7と電極10との間に静電気力を発生させると、可動部材7がたわみ、これに伴ってミラー9が溝部4の底面に沿って移動する。

請求項（抜粋）：

ベース部材と、前記ベース部材に片持ち支持された可動部材と、前記可動部材の先端部に固定され、前記ベース部材に設けられた光路上を通る光を遮断するミラーと、前記ミラーが前記ベース部材の上面に沿って前記可動部材の延在方向に対してほぼ垂直な方向に移動するように、前記可動部材を駆動する駆動手段とを備えることを特徴とする光スイッチ。

Fターム (5件)：

2H041AA14 , 2H041AB13 , 2H041AC06 , 2H041AZ01 , 2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (12件)

光ブレーカ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-305217 出願人：住友電気工業株式会社
光スイッチ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-121306 出願人：株式会社トキメック
傾斜端部を有する微細加工光スイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-262889 出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレーテッド

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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