特許
J-GLOBAL ID：200903034353585581

残渣剥離剤組成物およびその使用方法

発明者：
馬渡 豊樹

馬渡 豊樹 について

, 
鈴木 智子

鈴木 智子 について


出願人/特許権者：
イーケーシー・テクノロジー株式会社

イーケーシー・テクノロジー株式会社 について

, 
メック株式会社

メック株式会社 について


代理人 (1件)： 小林 純子 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-085495
公開番号（公開出願番号）：特開2002-289569
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：
【要約】【課題】 残渣除去性に優れ、銅配線の腐食が良好に防止できる残渣剥離剤組成物を提供すること。【解決手段】 フッ化アンモニウム、極性有機溶剤、水及びエポキシポリアミドを含有することを特徴とする残渣剥離剤組成物により、上記課題を解決する。
請求項（抜粋）：
フッ化アンモニウム、極性有機溶剤、水及びエポキシポリアミドを含有することを特徴とする残渣剥離剤組成物。
IPC (4件)：
H01L 21/304 647 ,  H01L 21/308 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/768
FI (4件)：
H01L 21/304 647 A ,  H01L 21/308 G ,  H01L 21/88 M ,  H01L 21/90 A
Fターム (19件)：
5F033KK09 ,  5F033KK11 ,  5F033MM01 ,  5F033MM02 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ20 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ92 ,  5F033RR04 ,  5F033RR09 ,  5F033RR25 ,  5F033RR29 ,  5F033WW04 ,  5F033XX18 ,  5F033XX21 ,  5F043AA26 ,  5F043BB27
引用特許：
審査官引用 (6件)
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