特許

J-GLOBAL ID：200903034380126793

表面プラズモン素子

発明者： 佐藤 明伸 ,  鈴木 晃子
出願人/特許権者： 日本航空電子工業株式会社
代理人 (3件)： 中尾 直樹 ,  中村 幸雄 ,  草野 卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-207392
公開番号（公開出願番号）：特開2009-042497
出願日： 2007年08月09日
公開日（公表日）： 2009年02月26日
要約：

【課題】鋭い表面プラズモン共鳴ピークを有し、波長選択性に優れた表面プラズモン素子を提供する。【解決手段】基板10上に導電膜20が形成され、その導電膜20に開口21が周期配列されて設けられ、その周期配列により開口21を透過する光の強度を増強する表面プラズモン素子において、光が透過する開口21内に光透過方向に屈折率分布の周期構造を設ける。屈折率分布の周期構造は開口21内に充填した誘電体30の屈折率の周期的変化によって構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に導電膜が形成され、その導電膜に開口が周期配列されて設けられ、その周期配列により開口を透過する光の強度を増強する表面プラズモン素子において、 光が透過する前記開口内に光透過方向に屈折率分布の周期構造を設けたことを特徴とする表面プラズモン素子。

IPC (3件)：

G02B 5/20 ,  G11B 7/135 ,  G01N 21/27

FI (3件)：

G02B5/20 ,  G11B7/135 A ,  G01N21/27 C

Fターム (13件)：

2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059JJ02 ,  2H048AA03 ,  2H048AA12 ,  2H048AA18 ,  2H048AA29 ,  5D789AA11 ,  5D789AA43 ,  5D789CA21 ,  5D789JA66 ,  5D789NA05

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特許第3008931号公報
  
• 光データ記憶媒体用の表面プラズモン増幅による読み出し/書き込みヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-043477   出願人：日本電気株式会社
• 光学素子および光ヘッドおよび光記録再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-075871   出願人：日本電気株式会社
• 表面プラズモン共鳴センサ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-128986   出願人：ローム株式会社

審査官引用 (2件)

• 開口部と周期的に変化する表面形状を有する金属フィルムを利用する光伝送装置。
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-229231   出願人：日本電気株式会社
• 固体撮像装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-192175   出願人：松下電器産業株式会社