特許
J-GLOBAL ID：200903034394447550

バッキングプレートへのターゲットのボンディング方法

発明者：
キム, ジャエヨーン

キム, ジャエヨーン について


出願人/特許権者：
ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド

ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 石原 昌典 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-567414
公開番号（公開出願番号）：特表2003-527967
出願日： 2001年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月24日
要約：
【要約】本発明は、アルミニウム含有バッキングプレートに対して、接合強度が10,000ポンド/インチ2以上でボンディングされたアルミニウム含有物理蒸着ターゲットを含む。本発明はまた、第1アルミニウム含有マスを第2アルミニウム含有マスにボンディングする方法を含む。第1アルミニウム含有マスは第1面を有し、第2アルミニウム含有マスは第2面を有する。第1及び第2面の少なくとも一方は、HF及びHNO3を有する混合体に晒され、次に、第1面が第2面に接触させられる。第1マスと第2マスは、第1マスを第2マスに接合するために互いに加圧される。さらに、本発明は、物理蒸着ターゲット材料をバッキングプレート材料にボンディングするための方法を含む。ターゲット材料とバッキングプレート材料は互いに物理的に接触するように結合される。ターゲット材料とバッキングプレート材料は次に、以下のように順次進行する負荷の下で加圧される。(1)負荷は、少なくとも約4ksiの第1圧力で少なくとも約20秒の時間維持される。(2)負荷は、新しい圧力となるよう少なくとも約0.5ksi増加される。(3)負荷は、その新しい圧力で少なくとも約20秒間維持される。
請求項（抜粋）：
第1アルミニウム含有マスを第2アルミニウム含有マスにボンディングするための方法であって、該方法は、 第1面を有する第1アルミニウム含有マスと、第2面を有する第2アルミニウム含有マスを提供する過程と、 前記第1及び第2面の少なくとも一方の面を、HF及びHNO3を有する混合物に晒す過程と、 前記晒し過程の後、前記第1面を前記第2面に物理的に接触させる過程と、 前記第1マスを前記第2マスに接合するために、前記第1及び第2マスを互いに加圧する過程と、 を具備することを特徴とするボンディング方法。
IPC (5件)：
B23K 20/00 310 ,  B23K 20/00 ,  B23K 20/24 ,  C23C 14/34 ,  B23K103:10
FI (5件)：
B23K 20/00 310 H ,  B23K 20/00 310 L ,  B23K 20/24 ,  C23C 14/34 C ,  B23K103:10
Fターム (11件)：
4E067AA05 ,  4E067BA03 ,  4E067DA03 ,  4E067DA17 ,  4E067DC03 ,  4E067DC06 ,  4E067EA03 ,  4E067EB00 ,  4K029DC00 ,  4K029DC21 ,  4K029DC22
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (2件)

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