フッ化物の回収方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木戸一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-187188
公開番号（公開出願番号）：特開2000-015056
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】排ガス中に含まれる化学的に安定なフッ化物を効率よく回収することができるフッ化物の回収方法を提供する。【解決手段】半導体製造工程から排出される排ガスを構成する主成分ガス中のパーフルオロカーボン,ハイドロフルオロカーボン,三フッ化窒素,六フッ化硫黄等の化学的に安定なフッ化物以外の不純物成分をあらかじめ除去した後、前記化学的に安定なフッ化物を、比表面積1100〜1400m2,細孔容積0.65〜0.99cc/gの活性炭に吸着させて前記主成分ガスから分離回収する。

請求項（抜粋）：

半導体製造工程から排出される排ガス中のフッ化物を回収する方法において、前記排ガスを構成する主成分ガス中の化学的に安定なフッ化物以外の不純物成分をあらかじめ除去した後、前記化学的に安定なフッ化物を、比表面積1100〜1400m2,細孔容積0.65〜0.99cc/gの活性炭に吸着させて前記主成分ガスから分離回収することを特徴とするフッ化物の回収方法。

IPC (2件)：

B01D 53/68 , B01D 53/04

FI (2件)：

B01D 53/34 134 C , B01D 53/04 A

Fターム (16件)：

4D002AA22 , 4D002AC10 , 4D002BA04 , 4D002CA07 , 4D002DA41 , 4D002EA02 , 4D002EA08 , 4D002GA01 , 4D002GB12 , 4D012BA03 , 4D012CA12 , 4D012CB12 , 4D012CD05 , 4D012CE03 , 4D012CF10 , 4D012CG10

引用特許：

審査官引用 (5件)

排ガス処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-154043 出願人：セントラル硝子株式会社
特開平4-150914
パーフルオロ化合物ガスの分離および回収方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-187877 出願人：レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード

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