特許
J-GLOBAL ID：200903034414555087

めっき装置

発明者：
笹部 憲一

笹部 憲一 について

, 
本郷 明久

本郷 明久 について

, 
国沢 淳次

国沢 淳次 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194922
公開番号（公開出願番号）：特開2001-024308
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 基板のめっき表面に気泡が付着せず、陽極電極表面に形成されたブラックフィルムを安定させることにより、高品質のめっきを安定的に行うことができるめっき装置を提供すること。【解決手段】 被めっき基板16のめっきを施す面を上に向けて配置し、被めっき基板16に対向して上方にめっき液室11を配置し、該めっき液室11内に被めっき基板16のめっきを施す面に対向して陽極電極板14を配置し、該めっき液室11の下面に多数の細孔が形成された多孔体12を設け、めっき液室11に供給しためっき液Q1を該多孔体12を通して被めっき基板16のめっきを施す面に供給するように構成した。
請求項（抜粋）：
被めっき基板のめっきを施す面を上に向けて配置し、該被めっき基板に対向して上方にめっき液室を配置し、該めっき液室内に前記被めっき基板のめっきを施す面に対向して陽極電極板を配置し、該めっき室の下面に多数の細孔が形成された多孔体を設け、前記めっき液室に供給しためっき液を該多孔体の多数の細孔を通して前記被めっき基板のめっきを施す面に供給するように構成したことを特徴とするめっき装置。
IPC (2件)：
H05K 3/18 ,  C25D 7/12
FI (2件)：
H05K 3/18 N ,  C25D 7/12
Fターム (18件)：
4K024AA09 ,  4K024AB01 ,  4K024BA11 ,  4K024BB12 ,  4K024CA15 ,  4K024CB02 ,  4K024CB08 ,  4K024CB13 ,  4K024CB15 ,  4K024CB19 ,  4K024CB26 ,  4K024GA16 ,  5E343AA22 ,  5E343BB24 ,  5E343DD43 ,  5E343FF16 ,  5E343FF17 ,  5E343GG20
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM