検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294515
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118896
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェハ等の検査を行う環境を高いクリーン度に保ち、微細なパターンの検査を適切に行うことを可能にする。【解決手段】半導体ウェハ等の検査を行う装置本体10をクリーンボックス3の内部に収容し、この装置本体10が収容されたクリーンボックス3の内部に、クリーンエアユニット4から清浄な空気を供給する。クリーンボックス3には、装置本体10の検査用ステージ14の側方に位置する側面部に開口領域80を設け、クリーンエアユニット4からクリーンボックス3内に供給された清浄な空気を、半導体ウェハが設置された検査用ステージ14上を通過させて、開口領域80からクリーンボックス3の外部に排出するようにする。これにより、クリーンボックス3内に発生した塵埃等が検査用ステージ14上に設置された半導体ウェハに付着することを有効に防止することができる。

請求項（抜粋）：

被検査物の検査を行う装置本体部と、上記装置本体部を内部に収容するクリーンボックスと、上記クリーンボックスの内部に清浄な空気を供給する空気供給部とを備え、上記装置本体部には、上記被検査物が設置される検査用ステージが設けられていると共に、上記検査用ステージの側方に位置する上記クリーンボックスの側面部の少なくとも一部に、上記空気供給源から上記クリーンボックスの内部に供給された清浄な空気を、上記検査用ステージ上を通過させて、上記クリーンボックスの外部に排出させるための開口領域が設けられていることを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01B 11/30 , G01N 21/956

FI (3件)：

H01L 21/66 J , G01B 11/30 A , G01N 21/956 A

Fターム (55件)：

2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065DD13 , 2F065DD14 , 2F065DD15 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065GG02 , 2F065GG04 , 2F065GG21 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ26 , 2F065NN02 , 2F065PP12 , 2F065QQ23 , 2F065QQ31 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2F065TT04 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051AC21 , 2G051BA01 , 2G051BA05 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051BB17 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051DA01 , 2G051DA08 , 2G051DA17 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EC01 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106BA07 , 4M106BA20 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DB07 , 4M106DB08 , 4M106DJ01 , 4M106DJ02 , 4M106DJ04 , 4M106DJ05 , 4M106DJ06 , 4M106DJ24 , 4M106DJ40

引用特許：

出願人引用 (3件)

クリーン度の高い検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-338230 出願人：東京エレクトロン株式会社
クリーン度の高い検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-338231 出願人：東京エレクトロン株式会社
ワーク検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-171861 出願人：株式会社日立製作所, 日立米沢電子株式会社

審査官引用 (3件)

クリーン度の高い検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-338230 出願人：東京エレクトロン株式会社
クリーン度の高い検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-338231 出願人：東京エレクトロン株式会社
ワーク検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-171861 出願人：株式会社日立製作所, 日立米沢電子株式会社

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