大気圧で低温プラズマを発生させる装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-565398
公開番号（公開出願番号）：特表2004-527073
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】低い放電開始及び保持電圧のもとで大気圧下で高密度の低温プラズマを発生させる装置の提供。【解決手段】1つは電源に連結され、もう1つは接地され、互いに離隔して対向する一対の電極、前記電極の対向表面上に互いに対向するように配置された25μm〜10mm厚さの一対の誘電体(これらのうち1つは1つの放電間隙(discharge gap)を有する);及び前記放電間隙内に位置する少なくとも1つの突起部を有する導体電極を含み、前記電極に電源を通じて50Hz〜10GHz周波数帯域のパルス直流又は交流を用いて1〜100kV/cmの強さで電場を印加しながら前記電極間へ反応ガスを供給して中空陰極放電、キャピラリ放電又は放電間隙から電荷の高集積化を誘導する、大気圧下での低温プラズマの発生装置。本発明の装置は、プラズマがアークへ転移するのを抑制し、安定した低温プラズマを高密度で提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

1つは電源に連結され、もう1つは接地され、互いに離隔して対向する一対の電極; 前記電極の対向表面上に、互いに対向するように配置された25μm〜10mm厚さの一対の誘電体(これらのうち1つは少なくとも1つの放電間隙(discharge gap)を有する);及び前記放電間隙内に位置された少なくとも1つの突起部(tip)を有する導体電極を含み、前記電極に電源を通じて50Hz〜10GHz周波数帯域のパルス直流又は交流を用いて1〜100kV/cmの強さで電場を印加しながら前記電極の間へ反応ガスを供給して大気圧下で低温プラズマを発生させる装置。

IPC (3件)：

H05H1/24 , B01J19/08 , C23C16/503

FI (3件)：

H05H1/24 , B01J19/08 E , C23C16/503

Fターム (20件)：

4G075AA02 , 4G075AA07 , 4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075BA10 , 4G075BC01 , 4G075BC06 , 4G075CA15 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EB42 , 4G075EC21 , 4G075FA08 , 4G075FB01 , 4G075FB06 , 4G075FC15 , 4K030FA01 , 4K030JA03 , 4K030JA18 , 4K030KA30

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板の表面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-264869 出願人：積水化学工業株式会社
シート状物への穴あけ加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-201585 出願人：松下電工株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
プラズマ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-088962 出願人：島田理化工業株式会社, 菅原實

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