特許
J-GLOBAL ID：200903034577261935
導波路型光デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山内 梅雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-227517
公開番号（公開出願番号）：特開2003-043272
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：
【要約】【課題】 温度変化に対して光導波路素子の特性の変動を抑え、温度調整手段を不要とすることのできる導波路型光デバイスを得ること。【解決手段】 導波路型光デバイスとしてのアレイ導波路回折格子201は、光導波路層211をシリコン基板212上に形成した所定の厚さh0を有する平板状の導波路素子203と、その光導波路層211側に接着された厚さh1の第1の補正基板204と、シリコン基板212側に接着された厚さh4の第2の補正基板205から構成されている。2枚の補正基板204、205の線膨張係数α1、α4と、ヤング率E1、E4を適切な値に設定すると共に第1および第2の接着剤214、215として剛性の高いものを使用することによって、導波路素子203の温度変化に対する反りと伸縮を最小限とすることができ、導波路型光デバイスを温度調整の不要なものにすることができる。
請求項（抜粋）：
導波路層を基板上に形成した所定の厚さを有する平板状の導波路素子と、この導波路素子の両面あるいは一方の面に固着する平板状の複数枚の材料であって、前記導波路素子が温度変化に対しその長さおよび反り返る力が前記導波路素子単独の場合よりも減少するような補正基板とを具備することを特徴とする導波路型光デバイス。
Fターム (5件)：
2H047KA04
, 2H047KB08
, 2H047LA18
, 2H047QA07
, 2H047TA00
