特許
J-GLOBAL ID：200903034589542212

熱媒流体を用いて対象物の温度を調節するための装置及び方法

発明者：
関 正暢

関 正暢 について

, 
佐々木 淳

佐々木 淳 について


出願人/特許権者：
株式会社小松製作所

株式会社小松製作所 について


代理人 (1件)： 上村 輝之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-394832
公開番号（公開出願番号）：特開2003-195953
出願日： 2001年12月26日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：
【要約】【課題】 熱媒体流体を用いて対象物の温度を所望値に制御する場合、対象物の温度の変動を十分に小さく抑制する。【解決手段】 対象物(5)に供給される熱媒流体を冷却又は加熱する熱電変換デバイス(6)のパワーをコントローラ(9)が制御する。コントローラ(9)は、熱電変換デバイス(6)から出た熱媒流体の温度(T1)と、対象物の温度(Ts)とを用いてフィードバック制御動作を行なう。このフィードバック制御動作では、対象物温度(Ts)と熱媒体温度(T1)の差を設定温度(SV)に加えることで熱媒体温度(T1)の目標温度が算出され、その目標温度と熱媒体温度(T1)との偏差に対するI-PD演算により、冷却/加熱器(6)への操作量が算出される。そのフィードバック制御動作を開始する前に、その制御中に対象物(5)に外部から加わる予定の熱負荷の大きさと、設定温度(SV)とに応じて、上記操作量の初期値が演算される。そして、上記初期値の出力から、上記フィードバック制御動作が開始される。
請求項（抜粋）：
対象物(5)に供給される熱媒流体を冷却又は加熱する熱伝変換デバイスを用いた冷却/加熱器(6)と、前記対象物(5)の現在温度を検出する対象物温度センサと(12)、前記対象物温度センサからの現在の対象物温度(Ts)を用いたフィードバック制御動作を行って、前記冷却/加熱器(6)に対する操作量を出力するコントローラ(9)とを備え、前記コントローラ(9)は、前記フィードバック制御動作において、前記対象物温度(Ts)を所望温度(SV)に制御するように前記熱媒流体の温度を調節する、対象物の温度を調節するための装置。
IPC (3件)：
G05D 23/19 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (3件)：
G05D 23/19 H ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B
Fターム (15件)：
5F004BB25 ,  5F004BB26 ,  5F004CA04 ,  5F004CB12 ,  5F045EJ09 ,  5F045EK10 ,  5F045GB05 ,  5H323AA05 ,  5H323BB03 ,  5H323CA06 ,  5H323CB12 ,  5H323CB22 ,  5H323CB44 ,  5H323KK05 ,  5H323NN03
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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