特許
J-GLOBAL ID：200903034590041359

弾性表面波センサアセンブリ

発明者：
カーター,チャド ジェイ.

カーター,チャド ジェイ. について

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フリー,エム.ベントン

フリー,エム.ベントン について

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ホイジンガ,ジョン エス.

ホイジンガ,ジョン エス. について

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ジョンストン,レイモンド ピー.

ジョンストン,レイモンド ピー. について


出願人/特許権者：
スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー

スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー について


代理人 (4件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  小林 良博
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-547194
公開番号（公開出願番号）：特表2007-520698
出願日： 2004年12月17日
公開日（公表日）： 2007年07月26日
要約：
本発明は、Z軸導電性エラストマーなどのZ軸導電層を使用する弾性表面波センサ(SAW)アセンブリに関する。特に、Z軸導電性エラストマーが、SAWセンサアセンブリを形成するために、回路層を弾性表面波(SAW)センサに結合する。たとえば、回路層の複数の電気コンタクトを、Z軸導電性エラストマーを介して、SAWセンサの複数の電極に結合することができる。Z軸導電性エラストマーは、電気コンタクトと電極との間の電気的結合を提供し、また、回路層とSAWセンサとの間の密閉バリヤを形成する。さらに、Z軸導電性エラストマーの弾性特性は、使用の間SAWセンサ上に加えられる圧力を低減することができる。
請求項（抜粋）：
複数の電極を含む弾性表面波センサと、 開口および複数の電気コンタクトを含む回路層と、 前記電気コンタクトを前記電極に結合するためのZ軸導電層と、 を含む弾性表面波センサアセンブリ。
IPC (5件)：
G01N 29/24 ,  G01N 29/02 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18
FI (5件)：
G01N29/24 ,  G01N29/02 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A
Fターム (13件)：
2G047AA01 ,  2G047AA04 ,  2G047BC02 ,  2G047BC14 ,  2G047BC15 ,  2G047CA01 ,  2G047CB03 ,  2G047EA14 ,  2G047GA02 ,  2G047GB13 ,  2G047GB21 ,  2G047GB32 ,  2G047GB33
引用特許：
出願人引用 (7件)
  • 弾性表面波素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-325637   出願人：国際電気株式会社
  • 特開平2-227661
  • 特開平3-209157
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審査官引用 (9件)
  • 弾性表面波素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-325637   出願人：国際電気株式会社
  • 特開平2-227661
  • 特開平2-227661
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