特許

J-GLOBAL ID：200903034616930084

吸着された有機化合物の脱着装置および脱着方法

発明者： 高野 善一 ,  渡辺 修 ,  佐藤 俊彦 ,  森川 潤一
出願人/特許権者： 株式会社モリカワ
代理人 (1件)： 廣瀬 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-274042
公開番号（公開出願番号）：特開2003-080019
出願日： 2001年09月10日
公開日（公表日）： 2003年03月18日
要約：

【要約】【課題】 吸着容器3に収容される塩化メチレン等の有機化合物を吸着した活性炭から、該吸着した有機化合物を効率よく脱着して活性炭を再利用する。【解決手段】 有機化合物を吸着した活性炭が収容される吸着容器3に、真空ポンプ2による減圧下で、脱着用のキャリアーガスとしてヘリウムガスを供給することで、活性炭に形成される微細な孔にまで吸着されている有機化合物を、短時間のうちに効率よく脱着させて、吸着容器3の繰り返しの再利用を図ることができるようにする。

請求項（抜粋）：

吸着容器内に収容された活性炭等の多孔質物質が吸着している有機化合物を脱着するにあたり、該脱着経路には、吸着容器を減圧状に吸引する状態でヘリウムガスをキャリアーガスとして供給する手段を備えて構成されることを特徴とする吸着された有機化合物の脱着装置。

IPC (4件)：

B01D 53/04 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/44 ,  B01D 53/81

FI (4件)：

B01D 53/04 G ,  B01D 53/04 E ,  B01D 53/34 117 A ,  B01D 53/34 ZAB

Fターム (16件)：

4D002AB03 ,  4D002AC07 ,  4D002BA04 ,  4D002CA07 ,  4D002DA41 ,  4D002EA07 ,  4D002FA01 ,  4D012BA03 ,  4D012CA11 ,  4D012CA12 ,  4D012CB16 ,  4D012CD07 ,  4D012CG01 ,  4D012CH06 ,  4D012CJ02 ,  4D012CJ05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体熱処理方法およびそれに用いる装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-205933   出願人：大同ほくさん株式会社, セミックスエンジニアリング株式会社
• ロードロック室、チャンバ、半導体製造装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-273558   出願人：キヤノン株式会社