特許
J-GLOBAL ID：200903034653493484
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-046577
公開番号（公開出願番号）：特開平8-219795
出願日： 1995年02月10日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 角速度センサの振動板と基板との間に微小隙間を確保する突起部を設け、製造時における固着を防止する。【構成】 基板32上に振動板7が位置する部分に複数個の突起部34,34,...を形成する。振動板7は各振動発生部11によって矢示A1 ,A2 方向に交互に振動し、このときY軸回りの角速度が生じると、コリオリ力によって振動板7は矢示F1 ,F2 方向に振動する。そして、この変位により角速度を検出する。また、各突起部34によって基板32と振動板7との間には微小隙間が常に確保でき、製造時における乾燥工程では、振動板7と基板32との間が密着して固着するのを防止できる。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板に支持梁を介して支持され、該基板に対して水平方向と垂直方向に振動可能に設けられた振動板と、該振動板を前記基板に対し水平方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記振動板に水平方向に振動を与えている状態で、コリオリ力による該振動板の垂直方向への変位を検出する変位検出手段とからなる角速度センサにおいて、互いに対向する前記基板と前記振動板との間には、少なくとも一方から他方に向けて突出し、該基板と振動板との間に微小隙間を確保する突起部を形成したことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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