特許

J-GLOBAL ID：200903034700548640

紫外線照射装置

発明者： 杉岡 晋次 ,  生川 弘治
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-083667
公開番号（公開出願番号）：特開2003-275576
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年09月30日
要約：

【要約】【課題】 ランプハウスにおける光照射窓から放射される紫外線の強度を容易に測定することができる紫外線照射装置を提供すること。【解決手段】 本発明の紫外線照射装置は、エキシマランプを収納し、このエキシマランプからの紫外線を照射する光照射窓を有してなるランプハウスと、前記光照射窓に沿って伸びる搬送路により、被処理物を搬送するための搬送機構と、前記搬送路に関して前記ランプハウスと反対側の領域に配置された、光照射窓よりの紫外線の強度を検出するための紫外線モニタと、この紫外線モニタを、搬送路を越えて前記光照射窓に接近する方向に移動させる移動機構とよりなることを特徴とする。この紫外線照射装置は、前記搬送機構による搬送路上における被処理物が存在しないことを検知する検知手段を備えることが好ましい。

請求項（抜粋）：

紫外線を放射するエキシマランプを収納し、このエキシマランプからの紫外線を外部に照射する光照射窓を有してなるランプハウスと、前記光照射窓に沿って伸びる搬送路により、被処理物を搬送するための搬送機構と、前記搬送路に関して前記ランプハウスと反対側の領域に配置された、前記ランプハウスの光照射窓よりの紫外線の強度を検出するための紫外線モニタと、この紫外線モニタを、前記搬送機構による搬送路を越えて前記ランプハウスの光照射窓に接近する方向に移動させる移動機構とよりなることを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (6件)：

B01J 19/12 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G21K 5/00 ,  G21K 5/10 ,  H01L 21/304 645

FI (6件)：

B01J 19/12 C ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G21K 5/00 Z ,  G21K 5/10 C ,  H01L 21/304 645 D

Fターム (14件)：

2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  2H090JC06 ,  2H090JC19 ,  4G075AA22 ,  4G075AA30 ,  4G075AA65 ,  4G075BA04 ,  4G075BB10 ,  4G075CA33 ,  4G075DA02 ,  4G075EB31 ,  4G075ED11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-183910   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 洗浄度測定機構を備えた紫外線洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-332010   出願人：株式会社オーク製作所