特許
J-GLOBAL ID：200903034722358314
配線の断線修復方法及び多層配線構造
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-292546
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200051
出願日： 1999年10月14日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】画像表示装置の配線の断線修正方法に関し、配線欠陥修正の信頼性を向上すること。【解決手段】画素の側方を通って断線の生じている本配線13と前記本配線13に層間絶縁膜15を介して絶縁される予備配線16とを互いの交差領域で接続する工程を有する画像表示装置の画像表示装置の配線の断線修正方法において、前記本配線13と前記予備配線の前記交差領域に向けてレーザ42から第1の出力強度のレーザビームを照射することにより、前記交差領域とその近傍にある前記予備配線16、前記層間絶縁膜15及び前記本配線13を通る孔44を開口する工程と、前記第1の出力強度とは異なる第2の出力強度のレーザビームを前記孔44に向けて照射して前記予備配線16と前記本配線13の一部を融解して前記予備配線16と前記本配線13を接続する工程とを含む。
請求項（抜粋）：
断線の生じている本配線と前記本配線に層間絶縁膜を介して形成される予備配線とを互いの交差領域で接続する工程を有する配線の断線修復方法において、前記本配線と前記予備配線の前記交差領域に向けてレーザから第1の出力強度のレーザビームを照射することにより孔を開口する工程と、前記第1の出力強度とは異なる第2の出力強度のレーザビームを前記孔に向けて照射して前記予備配線と前記本配線の一部を融解して前記予備配線と前記本配線を接続する工程とを有することを特徴とする配線の断線修復方法。
IPC (4件)：
FI (4件)：
引用特許：
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