特許
J-GLOBAL ID：200903034735684881

光学素子の屈折率分布の測定方法および装置

発明者：
須原 浩之

須原 浩之 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-154948
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122210
出願日： 1995年06月21日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、光学素子の屈折率分布を素子形状に拘らず、非破壊で、3次元空間的な屈折率分布として効率よく高精度に測定し、屈折率の不均一部分を3次元空間的に特定する。【構成】 同一光源1からの可干渉光を基準となる参照波aと測定対象の光学素子よりなる被検物Aを透過する被検波bとに分割し、参照波aと被検波bとの重畳による干渉縞像を形成させ、形成された前記干渉縞像から光学素子の屈折率分布を測定する。
請求項（抜粋）：
同一光源からの可干渉光を基準となる参照波と測定対象の光学素子よりなる被検物を透過する被検波とに分割し、参照波と被検波との重畳による干渉縞像を形成し、形成された干渉縞像から光学素子の屈折率分布を測定することを特徴とする光学素子の屈折率分布の測定方法。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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