特許
J-GLOBAL ID：200903034739276443

感光性樹脂組成物

発明者：
谷口 竜一郎

谷口 竜一郎 について

, 
三井 博子

三井 博子 について

, 
諏訪 充史

諏訪 充史 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2006304938
公開番号（公開出願番号）：WO2006-098291
出願日： 2006年03月14日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
(a)主鎖末端に、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびチオール基からなる群より選ばれる少なくとも一つの基を有するポリイミド、(b1)一般式(1)で表される不飽和結合含有重合性化合物および(c)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物により、アルカリ現像可能で、優れた耐熱性、強度および伸度を有するポリイミド膜を形成することができる。【化1】
請求項（抜粋）：
(a)主鎖末端に、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびチオール基からなる群より選ばれる少なくとも一つの基を有するポリイミド、(b1)一般式(1)で表される不飽和結合含有重合性化合物および(c)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 2/44 ,  C08F 20/30
FI (6件)：
G03F7/027 502 ,  G03F7/037 501 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F2/44 C ,  C08F20/30
Fターム (42件)：
2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025CA07 ,  2H025CB25 ,  2H025CB33 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J011PA97 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA03 ,  4J011QA13 ,  4J011QA24 ,  4J011SA21 ,  4J011UA01 ,  4J011UA03 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL63R ,  4J100AL66P ,  4J100BA03P ,  4J100BA08P ,  4J100BC08Q ,  4J100BC43P ,  4J100DA22 ,  4J100DA49 ,  4J100DA50 ,  4J100DA51 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (6件)
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