感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性ドライフィルムレジスト

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-332859
公開番号（公開出願番号）：特開2003-140339
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】充分な機械強度を有しつつ、耐熱性に優れ、更に加工性、接着性に優れた感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性ドライフィルムレジストを目的とする。またこのドライフィルムレジストをフレキシブルプリント基板に積層し、良好な物性を示す感光性カバーレイフィルムを提供することも目的とする。【解決手段】BPDA・ESDA・ODPA等の酸二無水物とシリコンジアミン・COOH或いはOHを有するジアミンその他の芳香族ジアミンからなる可溶性のシリコンポリイミド、(B)多官能アクリルまたは/あるいは多官能メタクリル、(C)光反応開始剤を必須成分とする感光性樹脂組成物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物および感光性ドライフィルムレジストにより実現することができる。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(1)【化1】【化2】及び、一般式(3)【化3】(ただし、式中のR1は芳香族テトラカルボン酸からテトラカルボン酸を除く4価の残基を示し、R2は一般式(4)のジアミノポリシロキサンのアミノ基を除く2価の残基を示し、R3は一般式(5)で示される芳香族ジアミン化合物よりアミノ基を除く2価の残基を示し、R4は一般式(4)及び一般式(5)で示されるジアミン化合物を除くジアミン化合物からアミノ基を除く2価の残基を示し、rは3〜30の整数を示し、R5は2価の炭化水素基又はフェニル基を示し、R6は独立に炭素数1〜3のアルキル基またはフェニル基を示し、×は直接結合又は一般式(6)で示し、R7は水酸基又はカルボキシル基を示し、tは1又は2の整数を示し、sは0〜3の整数を示し、R8、R9は水素、メチル基又はハロゲン化メチル基を示し、m、n及びpの割合が各成分合計100モル%中mが5〜80モル%、nが0.5〜80モル%及びpが残部である。)一般式(4)【化4】一般式(5)【化5】一般式(6)【化6】で示される有機溶剤可溶性の対数粘度(0.5g/100ml)0.16以上のポリイミドシロキサンポリイミド及び、(B)多官能アクリルまたは/あるいは多官能メタクリル、(C)光反応開始剤を必須成分とする感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/037 , C08F 2/44 , C08F283/12 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , G03F 7/075 , H05K 3/00

FI (9件)：

G03F 7/037 , C08F 2/44 C , C08F283/12 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , G03F 7/075 , H05K 3/00 F

Fターム (40件)：

2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC42 , 2H025CA01 , 2H025CA18 , 2H025CA27 , 2H025CA30 , 2H025CA34 , 2H025CB25 , 2H025CB32 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA29 , 4J011AA05 , 4J011PA97 , 4J011PA99 , 4J011QA03 , 4J011QA12 , 4J011QA13 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QB16 , 4J026AB04 , 4J026AB44 , 4J026AC18 , 4J026BA28 , 4J026BA29 , 4J026BA30 , 4J026BA50 , 4J026DB36 , 4J026GA07

引用特許：

審査官引用 (11件)

光架橋性ポリイミドアンモニウム塩
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-334394 出願人：オクシデンタルケミカルコーポレイション
特開平2-000870
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-251029 出願人：東芝ケミカル株式会社

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