リーク検査装置

発明者：
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-252720
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065886
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】短時間にリーク検査を行うリーク検査装置を提供する。【解決手段】チャンバ内に密封した検査物を収納し、前記チャンバ内の空気を排気し、排気圧の変化より前記検査物のリークを検査するリーク検査装置において、前記チャンバ内に収納された前記検査物内を加圧する加圧部と、リーク検査時に前記加圧部より前記チャンバ内に収納された前記検査物内を所定の圧力に加圧する制御部と、を備える。検査時に、検査物内を所定圧力で加圧するため、検査物よりチャンバ内にリークする空気の量は、加圧しない場合に比べて増大し、チャンバ内の排気圧の変化が大となり、短時間で正確にリーク検査を行うことができる。

請求項（抜粋）：

チャンバ内に密封した検査物を収納し、前記チャンバ内の空気を排気し、排気圧の変化より前記検査物のリークを検査するリーク検査装置において、前記チャンバ内に収納された前記検査物内を加圧する加圧部と、リーク検査時に前記加圧部より前記チャンバ内に収納された前記検査物内を所定の圧力に加圧する制御部と、を備えたことを特徴とするリーク検査装置。

IPC (2件)：

G01M 3/32 , G01M 3/26

FI (3件)：

G01M 3/32 A , G01M 3/26 A , G01M 3/26 N

Fターム (4件)：

2G067AA44 , 2G067BB04 , 2G067CC04 , 2G067DD03

引用特許：

審査官引用 (5件)

医薬用プラスチック成形品の成形不良を検査する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-039319 出願人：大塚テクノ株式会社
リーク量測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-103178 出願人：小川技研株式会社, トヨタ自動車株式会社
リーク量測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-103179 出願人：小川技研株式会社, トヨタ自動車株式会社

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